MEMS气体传感器
一、产品概述
相对于传统制作方法，我司采用 MEMS 工艺，实现尺寸小、功耗低、灵敏度高、抗干扰能力强、响应恢复快、驱动电路简单、稳定性好、寿命长、结构坚固、抗震性好等优点。
二、性能参数
三、应用场景
1. 家庭、工厂、商业场所的空气质量、可燃气体和有毒有害气体泄漏监测装置，防火/安全探测系统。
2.可燃气体泄漏报警器、智能燃气表、燃气集成灶、抽油烟机等。
四、标准测试电路（以甲烷为例）
回路电压 | VC | ≤ 5V DC | |
加热电压 | VH | 1.8V ± 0.05 V AC or DC | |
负载电阻 | RL | 可调（以出货报告为准） | |
标准测试条件下气敏元件特性 | 加热电阻 | RH | 45 Ω ± 5 Ω （室温） |
加热功耗 | PH | ≤ 30 mW | |
敏感体电阻 | RS | 5 KΩ ～300 KΩ (in air) | |
灵敏度 | S | R0 (in air) / Rs (in 2000 ppm CH4) ≥ 5 | |
标准测试条件 | 温度、湿度 | 20 ℃ ± 2 ℃； 55% ± 5% RH | |
标准测试电路 | VC:5 V ± 0.1 V； | ||
预热时间 | 不少于 3 分钟 | ||
响应时间（T90） | < 15s | ||
恢复时间（T90） | < 30s | ||
寿命 | ≥3 年 | ||
五、结构图
MEMS传感器结构引脚定义示意图
引脚定义：
Pin1：检测 Pin3：检测
Pin2：加热 Pin4：加热
