SRPS-QBA/BBA系列高精度硅谐振压力传感器,是西安思微传感科技有限公司自主开发的一款高精度MEMS压力传感器产品。硅谐振压力传感器是目前测量精度最高的压力传感器,因其具有精度高、稳定性好、准数字输出等优点,被广泛应用在大气数据测量系统、压力控制器和气象测量设备中。
传感器表芯中谐振结构采用音叉梁设计,其工作方式为面内振动,通过静电激励、电容拾振的方式实现谐振结构振动位移的驱动与检测,再结合闭环控制电路转化为频率信号输出。
SRPS-QBA/BBA系列高精度硅谐振压力传感器采用简洁的压力接口和电气接口,在保证性能的情况下,将传感器的尺寸压缩到最小,方便产品的拆卸与安装。