路溱开发的高精度防水型电容式压力传感器（型号：LQWP005TA）性能达到全球领先水平，压力测量精度达到0.6Pa，即5cm高度差的压力变化也可以精准测量出。该压力传感器创新地采用读取电容变化值的方式，区别于传统的压阻读取方式；同时MEMS芯片上敏感膜采用差分式结构设计，这样可以获得更高的压力测量精度；MEMS芯片上的电容设计成阵列式分布，则每个电容单元尺寸可以减小，从而薄膜厚度可以尽可能做得更薄，且电容上下极板之间的间隙可以做得更小，以此来提高传感器灵敏度和改善结构的黏连可靠性。电容式MEMS压力传感器具有灵敏度高（薄膜较薄）、温度影响小（电容不受温度影响）、噪声低（电容的噪声小）等优点，非常适合于高性能应用。LQWP005TA采用独特的封装结构，可以水下100米防水，防水等级达到IPx8。

主要参数：

▪         尺寸：2.7 × 2.7 × 1.7 mm3，水下100米防水

▪         工作范围：压力：300 – 1200 hPa; 温度：-40 – 85  ͦC

▪         压力传感器精确度（噪声）：±0.3 Pa (± 3 cm)

▪         压力传感器相对精度：±3 Pa (±30 cm)

▪         压力传感器绝对精度：±1 hPa (±8 m)

▪         内置的温度传感器精度：±0.5  ͦC

▪         压力的温度敏感系数（TCO）：<0.5 Pa/K