MATE1600A型压力芯体补偿测试系统是为扩散硅式压力芯体补偿测试研发的专用自动化批量测试设备。采用“一拖四”的系统架构,即一个主控机柜控制四个温度试验箱和四套测试采集器进行分布式测试,形成满载1600支压力芯体的脉动补偿测试生产线,实现芯体封装、测试装夹和温度补偿的效率匹配,实现无人值守测试,极大地提升了测试效率和设备的利用率。
1) 测试产品:扩散硅压力芯体;
2) 系统供电:220VAC,50Hz;
3) 测试通道:1600路;
4) 电气连接:机柜侧门设计集成的气路和电气连接模块,如图2所示;采用专用集成电缆实现系统和产品的互联;
5) 惠斯登电桥激励:8种激励模式可选,包括1mA、1.5mA、5V、外接激励、预留4种客户自定义激励形式;
6) 数据采集系统:采用是德科技的34461A万用表,六位半分辨率,直流电压采样精度0.003%;电阻测试误差≤2mΩ;