PK40X高纯压力传感器为全金属(316L或合金)焊接结构,接液表面100%处理EP级,传感器为干式敏感单元,无污染风险,连接为半导体专用接头,甚至W-Seal、C-Seal等。
产品整个核心工艺都在洁净室完成,粗糙度、氦检、洁净度等完全满足半导体需求,广泛应用于泛半导体各类干法工艺机台、Gasbox、特气柜等。
认证:Exia IIC T4(可选)
通讯接口:M12、直接出线等
信号输出:4-20mA、0-5V、1-5V、0-10V等
量程:-14.7~0~30、60、100、160、250、350、500、750、1000、1500、2000、3000、6000psi
压力类型:表压、绝压、负压
精度等级:0.25%FS
过程连接:9/16-18UNF(M/F)、W-Seal、C-seal、穿流式等