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高纯压力传感器PT

  • 产品型号:PK40X
  • 产品品牌:BICCNS佰控
  • 应用领域: 半导体

苏州佰控传感技术有限公司

中国 江苏省 苏州市

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PK40X高纯压力传感器为全金属(316L或合金)焊接结构,接液表面100%处理EP级,传感器为干式敏感单元,无污染风险,连接为半导体专用接头,甚至W-Seal、C-Seal等。

产品整个核心工艺都在洁净室完成,粗糙度、氦检、洁净度等完全满足半导体需求,广泛应用于泛半导体各类干法工艺机台、Gasbox、特气柜等。

认证:Exia IIC T4(可选)

通讯接口:M12、直接出线等

信号输出:4-20mA、0-5V、1-5V、0-10V等

量程:-14.7~0~30、60、100、160、250、350、500、750、1000、1500、2000、3000、6000psi

压力类型:表压、绝压、负压

精度等级:0.25%FS

过程连接:9/16-18UNF(M/F)、W-Seal、C-seal、穿流式等

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