1、概述：
XYM9005平面三轴加速度传感器是基于MEMS(微机电系统)加工工艺，在一块PCB上集成X-Y-Z三轴的高性能振动监测传感器。该传感器可采用5V电源供电，集成X-Y-Z三轴和自检测ST功能，专门为地震和振动监测应用领域而设计。XYM9005采用超高性能加速度计，动态范围可达105dB。
该传感器在出厂时经过严格的筛选测试。在噪声、动态范围、非线性、重复性、温度漂移、抗冲击等性能上具有优越的表现，是目前行业内具有竞争优势的一款产品。
2、产品特性
Ÿ开环MEMS电容传感器
Ÿ电源电压： 5V
Ÿ工作电流：≤25mA（三轴）
Ÿ输出方式：差分输出
Ÿ噪声：
-XYM9005：≤2.5ug/√Hz
Ÿ动态范围：
-XYM9005：≥105dB
Ÿ带宽：
-XYM9005：≥200Hz.(典型值, -3dB)
Ÿ量程：
-XYM9005：±2g
Ÿ非线性：0.1%FS (典型值, FS：满量程)
Ÿ尺寸大小：38.5 x 35.5 x 21mm
Ÿ工作温度：-40~+85ºC
测试条件：VCC=5V，TA=20 ºC，除非另有说明
技术参数 | 单位 | XYM9001 | |||
量程 | g | ±2 | |||
零偏 | mV | ±100 | |||
标度因数（差分输出） | mV/g | 1800±20 | |||
带宽（-3dB） | Hz | ≥200 | |||
噪声 | ug/√Hz | 2.5（Z轴） 10（X/Y轴） | |||
非线性(FS) | % | 0.1 | |||
横向灵敏度 | % | 3 | |||
零偏温度系数 | mg/ ºC | ±0.2 | |||
标度因数温度系数 | ppm/ ºC | 120 | |||
自检功能 | |||||
类型 | 形式 | 数值 | |||
频率 | 方波输出 | 19Hz典型 | |||
占空比 | - | 50% | |||
幅值 | 峰值 | 0.42g | |||
三轴自检输入阈值电压 | 高电平有效 | 5V | |||
加速度计输出 | |||||
类型 | 形式 | 数值 | |||
输出电压（差分输出） | OutP, OutN 全量程输出 | 0±3.6V OutP :0.7~4.3V OutN: 0.7~4.3V | |||
电气特性 | |||||
工作电压 | 5V | ||||
工作电流 | ≤25mA（三轴） | ||||
启动时间 | 20ms | ||||
外壳结构 | |||||
外形尺寸 | 34mm*34mm | ||||
封装 | 铝合金氧化底座（默认黑色） | ||||
环境适应性 | |||||
工作温度 | -40~+85 ºC | ||||
存储温度 | -55~+125 ºC | ||||
抗冲击 | 6000g | ||||
