CAFS5012气体质量流量传感器是采用微机电系统(MEMS)流量传感芯片制作，适用于各种用途的清洁、相对干燥性小流量气体测量和过程控制，独特的封装技术使得产品满足不同范围的流量测量，确保高灵敏度，高可靠性，高稳定性和低成本。
CAFS5012是基于MEMS流量传感单元和高精度数字处理和标定电路（MCU）组成.集成的Δ-ΣA/D转换器和具有内部校准功能的逻辑电路及MCU处理器共同保证了传感信号实时有效采集，获得精确的流量信号，并在内部进行相应的补偿算法处理，因此无需再做任何外部校准补偿，就能确保高精度的流量输出；友好的数字化输出通讯方式，用户可以很方便的得到进行通信得到相应数据信息；产品应用范围十分广阔。
功能项 | CAFS5012系列 | ||
性能参数 | 单位 | 备注 | |
流量范围 | 0-50/80/100/150/200/250/300/400 | slpm | 可定制 |
供电电源 | 8~24VDC，50mA | VDC | 可选 |
精度 | ±1.5 | % | FS |
响应时间 | 65（10,20,30,50,801002等） | ms | 可选 |
最大压力 | 0.8 | MPa | 可定制 |
通讯方式 | I2C | 可选 | |
量程比 | 50:1 | ||
输出方式 | 模拟输出1-5 | V | 可定制 |
温度 | 介质温度(-10~65)，环境温度(-25~85) | ℃ | |
接口 | NPT1/2 | ||
防护等级 | IP40 | ||
校准方式 | 空气，0℃，101.325 kPa | ||
整体材质 | 不锈钢（铝合金可定制） | ||
